[发明专利]光照射装置

摘要

光照射装置(1A)是用于照射照射对象物(B)的装置，具备：光源(10)，输出读出光(L1)；空间光调制器(20)，调制读出光(L1)的相位并射出调制光(L2)；两侧远心光学系统(30A)，具有与空间光调制器(20)的相位调制面(20a)相光学性地耦合的透镜(31)以及被光学性地耦合于透镜(31)与照射对象物(B)之间的透镜(32)并且光学性地耦合相位调制面(20a)和照射对象物(B)。相位调制面(20a)与透镜(31)的光学距离实质上与透镜(31)的焦点距离相等。空间光调制器(20)将菲涅耳型开诺全息照片显示于相位调制面(20a)。由此，实现了能够容易地使光轴方向上的调制光的照射位置发生变化的光照射装置。

主权项

一种光照射装置，其特征在于：是用于将光照射于照射对象物的光照射装置，具备：光源，输出读出光；空间光调制器，具有包含二维排列的多个区域的相位调制面，通过在所述多个区域的每个区域调制所述读出光的相位从而射出调制光；以及两侧远心光学系统，具有与所述空间光调制器的所述相位调制面相光学性地耦合的第1透镜以及光学性地耦合于所述第1透镜与所述照射对象物之间的第2透镜，并且将所述相位调制面和所述照射对象物光学性地耦合，所述相位调制面与所述第1透镜的光学距离实质上与所述第1透镜的焦点距离相等，所述空间光调制器将菲涅耳型开诺全息照片显示于所述相位调制面。