[发明专利]超声波振子元件及超声波内窥镜有效
申请号: | 201380057959.2 | 申请日: | 2013-10-25 |
公开(公告)号: | CN104823462B | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 松本一哉;若琳胜裕 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
主分类号: | H04R19/00 | 分类号: | H04R19/00;A61B8/12;H01L29/84 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐殿军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 超声波振子元件(20)具备由基板(11)和由多个单元(10)构成的单元群(10Z),所述多个单元(10)分别具有配设在基板(11)之上的下部电极(12)和包括隔着腔体(14H)而与下部电极(12)对置配置的上部电极(16)的膜片(18)、以及通过支承膜片(18)而形成腔体(14H)的多个柱(14),多个单元(10)各自的腔体(14H)相互连通。 | ||
搜索关键词: | 超声波 元件 内窥镜 | ||
【主权项】:
1.一种超声波振子元件,其特征在于,具备:基板;以及单元群,由多个超声波振子单元构成,所述多个超声波振子单元分别具有配设在上述基板之上的下部电极和包括隔着腔体而与上述下部电极对置配置的上部电极的膜片、以及通过支承上述膜片而形成上述腔体的多个柱,所述多个超声波振子单元各自的上述腔体相互连通,上述膜片被6根以上且16根以下的上述多个柱支承,各个柱将邻接的多个超声波振子单元的膜片支承,上述单元群的上述腔体由6根柱支承上述膜片,上述6根柱配置在从正六边形的顶点错开的位置,从而上述单元群具备上述腔体的形状及大小不同的多个种类的上述超声波振子单元。
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