[发明专利]光学材料用永久膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置有效
| 申请号： | 201380053938.3 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104718498B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 佐竹亮 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/027;C07C15/46;C07C69/54;C07C69/732 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学材料用永久膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置，所述光学材料用永久膜的制造方法是对感光性树脂组合物进行曝光而使曝光部硬化，其后将非曝光部除去，将残余的硬化膜作为永久膜的光学材料用永久膜的制造方法，其中，感光性树脂组合物含有(A)聚合性单体、(B)光聚合引发剂、(C)碱可溶性树脂以及(D)溶剂，隔着移相部中的透射率为0.1％以上、20％以下的半色调相位差掩模对感光性树脂组合物照射选自g射线、h射线及i射线中的活性放射线，对树脂进行曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 光学材料 永久 制造 方法 制作 硬化 使用 有机 el 显示装置 液晶 | ||
【主权项】：
1.一种光学材料用永久膜的制造方法，其是将感光性树脂组合物应用在基板上，从所应用的感光性树脂组合物中除去溶剂，对所得到的涂膜进行曝光而使此曝光部硬化，其后将非曝光部除去，将残余的硬化膜作为永久膜的光学材料用永久膜的制造方法，其中，/n所述感光性树脂组合物含有聚合性单体、光聚合引发剂、碱可溶性树脂以及溶剂，/n隔着移相部中的透射率为0.1％以上、20％以下的半色调相位差掩模对所述涂膜照射选自g射线、h射线、及i射线中的活性放射线，而对所述涂膜进行曝光，/n所述光聚合引发剂为肟酯化合物，/n所述碱可溶性树脂包含具有交联性基的结构单元，/n所述碱可溶性树脂的所述交联性基是选自由环氧基、氧杂环丁基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基所构成的群组的至少1个基，/n所述碱可溶性树脂在固体成分中所占的比例的范围为30质量％以上，且80质量％以下。/n
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