[发明专利]温度传感器有效
申请号: | 201380044564.9 | 申请日: | 2013-09-17 |
公开(公告)号: | CN104641208B | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 稻场均;长友宪昭 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | G01K7/22 | 分类号: | G01K7/22;H01C7/04 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人: | 康泉,王珍仙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种温度传感器,其具有热敏电阻材料层,所述热敏电阻材料层能够降低来自外部配线的热传导的影响,而且在弯曲的情况下也不易产生龟裂,能够不烧成而直接成膜于薄膜上。其具备绝缘性薄膜(2);薄膜热敏电阻部(3),以TiAlN热敏电阻材料形成于绝缘性薄膜的表面;一对梳状电极(4),在薄膜热敏电阻部上具有多个梳部(4a),并且相互对置地以金属来图案形成;及一对图案电极(5),连接于一对梳状电极,并且图案形成于绝缘性薄膜的表面,图案电极的至少一部分由导电性树脂形成。 | ||
搜索关键词: | 温度传感器 | ||
【主权项】:
一种温度传感器,其特征在于,具备:绝缘性薄膜;薄膜热敏电阻部,以TiAlN热敏电阻材料形成于该绝缘性薄膜的表面;一对梳状电极,在所述薄膜热敏电阻部的上侧及下侧中的至少一侧具有多个梳部,并且相互对置地以金属来图案形成;及一对图案电极,连接于所述一对梳状电极,并图案形成于所述绝缘性薄膜的表面,所述图案电极的至少一部分由导电性树脂形成,所述绝缘性薄膜分割为形成有所述薄膜热敏电阻部与所述梳状电极的前端侧薄膜部及形成有所述图案电极的基端侧薄膜部而构成,所述梳状电极与所述图案电极的由导电性树脂形成的部分通过导电性树脂连接,并且所述前端侧薄膜部与所述基端侧薄膜部通过导电性树脂连结。
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