[发明专利]光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201380043945.5 | 申请日： | 2013-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN104769500B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | H·H·M·考克斯;M·M·G·希伦;P·M·S·M·海杰曼斯;J·J·韦尔滕;J·H·A·范德里杰特;G·K·H·F·格伦;A·凯克劳德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 描述了一种电磁致动器，该致动器包括：线圈组件(350)，包括线圈(355)；磁体组件，包括第一磁体单元和第二磁体单元(360、370)，每个磁体单元包括磁轭(365、375)和被安装至磁轭的多个永磁体(366、376)，第一磁体单元和第二磁体单元形成用于接收线圈组件的磁路，并且在激励线圈时，产生在第一方向上的力；以及保持器(600)，用于保持磁体单元，其中磁体组件相对于线圈组件的重量比小于在力相对于电功率的比被最大化时磁体组件相对于线圈组件的重量比。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电磁致动器，包括：线圈组件，包括至少一个线圈；磁体组件，包括第一磁体单元和第二磁体单元，所述第一磁体单元和所述第二磁体单元中的每个磁体单元包括磁轭和被安装至所述磁轭的多个永磁体，所述第一磁体单元和所述第二磁体单元形成用于接收所述线圈组件的磁路，并且在激励所述线圈时，产生在第一方向上的力；以及保持器，用于保持所述第一磁体单元和所述第二磁体单元，其中所述第一磁体单元和所述第二磁体单元被刚性地安装至所述保持器；并且其中所述磁体组件相对于所述线圈组件的重量比小于在力相对于电功率的比被最大化时磁体组件相对于线圈组件的重量比。
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