[发明专利]微热板器件及包括此类微热板器件的传感器有效
| 申请号： | 201380037247.4 | 申请日： | 2013-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN104541161B | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 克莉丝汀·艾尔皮;尼古拉斯·莫瑟尔 | 申请（专利权）人： | SGX传感器公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/18 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 归莹,张颖玲 |
| 地址： | 瑞士科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微热板器件，其包括框架、薄膜、包括至少一有源层的有源区以及被设计成加热所述有源层的加热结构，所述加热结构具有同心的轨径，并且所述加热结构包括内轨径和内间隔以及外轨径和外间隔，所述外轨径和外间隔是位于最远离所述加热结构的中心处的一个或两个轨径和间隔，其中，所述外轨径被设计成与自身相邻轨径的靠近度较所述内轨径与自身相邻轨径的靠近度更高和/或被设计成具有较所述内轨径更小的宽度，所述内轨径的宽度和间距基本恒定。 | ||
| 搜索关键词： | 微热板 器件 包括 类微热板 传感器 | ||
【主权项】：
一种微热板器件，包括：框架、薄膜、包括至少一有源层的有源区以及被设计成加热所述有源层的加热结构，所述加热结构具有同心的轨径并且包括内轨径和内间隔以及外轨径和外间隔，所述外轨径和所述外间隔为距离所述加热结构的中心最远的一个或两个轨径和一个或两个间隔，其中，所述外轨径被设计成与自身相邻轨径的靠近度较所述内轨径与自身相邻轨径的靠近度更高和/或被设计成具有较所述内轨径更小的宽度，以使得所述外轨径比所述内轨径更窄，所述内轨径的宽度和间距恒定。
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