[发明专利]用于产生等离子体的表面波施加器有效
| 申请号： | 201380036340.3 | 申请日： | 2013-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN104782235B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | A·拉科斯特;J·佩尔蒂埃 | 申请（专利权）人： | 约瑟夫福理埃大学-格勒诺布尔1;J·佩尔蒂埃 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 归莹,张颖玲 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于产生等离子体的表面波施加器(1)，包括导电同轴组件(2)，由中间芯体(20)和外管形导体(21)组成，外管形导体(21)围绕中间芯体(20)并且通过用于传播电磁波(W)的环形容腔(22)与中间芯体(20)分隔；以及介电管(3)，在同轴组件(2)的末端被插入用于传播电磁波的环形容腔(22)中并且以一至少等于介电管(3)的外直径的两倍的长度从所述施加器的出口平面(Y)延伸出，以使得在同轴组件(2)中传播的电磁波(W)沿介电管(3)的纵向(X)被引入介电管(3)的截面，从而沿着介电管的内壁(30)和/或外壁(31)与等离子气体(4)接触的部分产生表面波等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 等离子体 表面波 施加 | ||
【主权项】：
一种用于产生等离子体的表面波施加器(1)，包括：同轴组件(2)，其为导电的并且由中间芯体(20)和外管形导体(21)组成，所述外管形导体(21)围绕所述中间芯体(20)并且通过用于传播电磁波(W)的环形容腔(22)与所述中间芯体(20)分隔；以及介电管(3)，在所述同轴组件(2)的末端被插入用于传播所述电磁波的所述环形容腔(22)中并且以一至少等于所述介电管(3)的外直径的两倍的长度从所述施加器的出口平面(Y)延伸出，以使得在所述同轴组件(2)中传播的所述电磁波(W)沿所述介电管(3)的纵向(X)被引入所述介电管(3)的截面，从而沿着所述介电管的内壁(30)和/或外壁(31)与等离子气体(4)接触的部分产生表面波等离子体。
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