[发明专利]在由超耐热合金制成的部件上气相淀积金属涂层的方法和工具

摘要

本发明涉及一种在由耐热合金制成的部件上气相沉积金属涂层的方法，该方法包括将所述部件布置在腔室中，在该腔室中存在能够一起形成卤化物金属涂层的金属供体颗粒和活化剂，在中性或还原气体环境下加热该腔室到涂层金属卤化物与部件的合金反应的温度，其特征在于，所述颗粒的层设置在至少一个盒(2)的底部(21)上，然后部件的支撑件被放置在颗粒层上，所述支撑件包括将所述部件保持与颗粒层分离的支撑柱，当盒被关闭时气体经由位于颗粒层以上的侧面被喷射到所述盒内。

主权项

在工具中在由耐热合金制成的部件(35、45)上气相沉积金属涂层的方法，所述工具包括：至少第一盒和第二盒，所述第一盒和第二盒叠置并分别形成腔室且具有底部和侧壁；用于部件的支撑件(30、40)，每个支撑件包括平行于底部的板(31、4)以及支撑每个板的支撑柱，所述支撑柱与侧壁具有相同高度；该方法包括以下步骤：在第一盒和第二盒(1)各自的底部布置所述金属涂层供体和活化剂的颗粒的层，所述供体和活化剂能够一起形成涂层金属的卤化物；在每个支撑件上布置部件(35、45)，部件(35、45)悬挂在支撑件上；在存在颗粒的层的情况下，在每个腔室中布置每个支撑件高于颗粒的层，部件通过支撑柱被保持在高于颗粒的层一定距离处以不与颗粒的层接触；以及在中性或还原气体的气氛下加热腔室到形成的涂层金属的卤化物与部件的合金反应的温度；当至少第一盒被关闭时，气体通过高于颗粒的层的侧面被引入到第一盒和第二盒中，第一盒被置于支撑件上方的第二盒的底部关闭。