[发明专利]压电器件、压电致动器、硬盘驱动器、喷墨打印机装置和压电传感器有效
申请号: | 201380033316.4 | 申请日: | 2013-07-25 |
公开(公告)号: | CN104395087B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 仓知克行;会田康弘;佐久间仁志;前岛和彦 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;G11B5/48;H01L41/053;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/113 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据本发明的压电器件(100)设置有第一电极膜(5)、设置在第一电极膜(5)上的第一非金属导电性中间膜(4)、设置在第一非金属导电性中间膜(4)上的压电膜(3)、设置在压电膜(3)上的第二非金属导电性中间膜(2)、以及设置在第二非金属导电性中间膜(2)上的第二电极膜(1)。第一非金属导电性中间膜(4)的线性膨胀系数大于第一电极膜(5)和压电膜(3)的线性膨胀系数,并且第二非金属导电性中间膜(2)的线性膨胀系数大于第二电极膜(1)和压电膜(3)的线性膨胀系数。 | ||
搜索关键词: | 压电 器件 致动器 硬盘驱动器 喷墨打印机 装置 传感器 | ||
【主权项】:
一种压电器件,其中,包括:第一电极膜;第一非金属导电性中间膜,其设置在所述第一电极膜上;压电膜,其设置在所述第一非金属导电性中间膜上;第二非金属导电性中间膜,其设置在所述压电膜上;以及第二电极膜,其设置在在所述第二非金属导电性中间膜上,所述第一非金属导电性中间膜的线性膨胀系数大于所述第一电极膜的线性膨胀系数和所述压电膜的线性膨胀系数,并且所述第二非金属导电性中间膜的线性膨胀系数大于所述第二电极膜的线性膨胀系数和所述压电膜的线性膨胀系数。
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