[发明专利]含臭氧液生成装置及具备其的清洗装置

摘要

含臭氧液生成装置(1A)具备：臭氧发生器(10)，其产生臭氧；气液混合器(20)，其使水含有产生的臭氧来生成臭氧水(100)；气体导入路(L4)，其将原料气体导入臭氧发生器(10)；液体导入路(L1)，其将水导入气液混合器(20)；气液分离器(30)，其对生成的臭氧水(100)进行气液分离；含臭氧液导出路(L3)，其将气液分离后的臭氧水(100)向外部导出；气体回流路(L6)，其使从臭氧水(100)分离的残留气体向臭氧发生器(10)回流；以及液体收集器(40)，其设置在气体回流路(L6)上。

主权项

一种含臭氧液生成装置，其特征在于，具备：臭氧发生单元，其使用包含氧的气体产生臭氧；含臭氧液生成单元，其通过使液体含有由上述臭氧发生单元产生的臭氧来生成含臭氧液；气体导入路，其将包含氧的气体导入上述臭氧发生单元；液体导入路，其将液体导入上述含臭氧液生成单元；气液分离单元，其将由上述含臭氧液生成单元生成的含臭氧液临时贮存并对其进行气液分离；含臭氧液导出路，其将由上述气液分离单元进行气液分离后的含臭氧液向外部导出；气体回流路，其使由上述气液分离单元从含臭氧液分离的包含臭氧的气体向上述臭氧发生单元回流；以及液体收集器，其设置在上述气体回流路上。