[发明专利]微粒分级测定装置、粒子浓度分布均匀的试样制作装置、以及纳米粒子膜成膜装置

摘要

在能够使流经内部的试样气体形成层流的平行的流路的入口侧配置有带电器，带电器包含放电电极，使试样气体中的微粒带电。在该流路的相对的一对面中的一个面上，在带电器的下游，将1个或多个吸引侧电极沿着流路方向配置于离流路入口不同距离的位置上。在该流路的相对的一对面中的另一面上配置有分级电极。分级电极与吸引侧电极相对配置，在分级电极与吸引侧电极之间，发生将流经流路的试样气体中的带电微粒吸附于吸引侧电极一侧的电场。

主权项

一种微粒分级测定装置，其特征在于，具备：能够使流经内部的试样气体形成层流的平行的流路；从所述流路的入口吸入试样气体，并且以吸入的试样气体在所述流路内形成层流流动的条件被驱动的送风机构；包含配置于所述流路入口侧的放电电极，并使试样气体中的微粒带电的带电器；多个吸引侧电极，其在所述流路的相对的一对面的一个面上，在所述带电器的下游沿着流路方向配置于离所述流路的入口不同距离的位置上，分别在流路方向上有规定的电极宽度，且电气上相互分离；分级电极，其在所述一对面的另一面上，与所述吸引侧电极相对配置，在所述分级电极与所述吸引侧电极之间发生将流经所述流路的试样气体中的带电微粒吸附于所述吸引侧电极一侧的电场；以两个以上的所述吸引侧电极为测定电极，分别连接于这些测定电极，检测到达各测定电极的不同粒径范围的带电微粒所具有的电荷量的每一测定电极的检流电路；连接于所述检流电路，根据所述检流电路检测出的电荷量，计算到达所述测定电极的带电微粒的分级的微粒量的运算部；连接于所述检流电路与所述运算部之间的、取两个测定电极的各自的检流电路的测定信号的差分的差分电路、或利用软件对两个测定电极的各自的检流电路的测定信号的差分进行运算的功能。