[发明专利]感活性光线性或感放射线性树脂组合物、及使用其的图案形成方法

摘要

本发明的感活性光线性或感放射线性树脂组合物含有(A)至少1种下述通式(I)所表示的通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物、和(B)至少1种包含下述通式(1)所表示的重复单元的通过酸的作用分解而对于碱显影液的溶解度增大的树脂。

主权项

一种感活性光线性或感放射线性树脂组合物，其特征在于，其含有(A)至少1种下述通式(I)所表示的通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物、和(B)至少1种包含下述通式(1)所表示的重复单元的通过酸的作用分解而对于碱显影液的溶解度增大的树脂，通式(I)中，X分别独立地表示氢原子、氟原子、或氟代烷基；R₁表示氢原子、卤素原子、烷基、单环或多环的环烷基、烯基、氧代烯基、芳基、芳烷基；R₂表示R₃O及R₄R₅N中的任一者；R₃、R₄、及R₅分别独立地表示氢原子、烷基、单环或多环的环烷基、烯基、氧代烷基、芳基、芳烷基、或内酯基；R₂为R₄R₅N时，R₄及R₅也可以相互键合，与R₄及R₅所键合的氮原子一起形成环结构；R_f表示氢原子、氟原子、或氟代烷基；A表示下式所表示的任一基团；M⁺表示一价的阳离子；n为1～10的整数；R₃₁表示氢原子、氟原子、烷基或氟代烷基；R₃₂表示甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或仲丁基；R₃₃表示与R₃₂所键合的碳原子一起形成单环的脂环式烃结构所需要的原子团；所述脂环式烃结构中构成环的碳原子的一部分也可以被杂原子或包含杂原子的基团取代。