[发明专利]光学投影阵列曝光系统有效
| 申请号： | 201380029365.0 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN104335117A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 大卫·马克尔;托马斯·莱迪格;杰弗瑞·卡斯基;陈正方 | 申请（专利权）人： | 班布努克影像公司 |
| 主分类号： | G03B27/72 | 分类号： | G03B27/72;G02B6/10 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 李晓冬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种空间光调制器成像系统。该系统包括照明模块、投影模块及照明-投影光束分离器，该照明模块被配置为提供照明光，其中，该照明光呈现由该空间光调制器成像系统成像的数据图案；该投影模块被配置为将该照明光投射至基板；该照明投影光束分离器耦接于该照明模块与该投影模块之间；其中，该照明-投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将所接收的照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 投影 阵列 曝光 系统 | ||
【主权项】：
一种空间光调制器成像系统，包括：照明模块，被配置为提供照明光，该照明光呈现将由该空间光调制器成像系统成像的数据图案；投影模块，被配置为将该照明光投射至基板；及照明‑投影光束分离器，耦接于该照明模块与该投影模块之间，其中该照明‑投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将接收的该照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行。
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