[发明专利]无碱玻璃基板及无碱玻璃基板的减薄方法

摘要

本发明涉及一种无碱玻璃基板，其为通过氢氟酸(HF)蚀刻处理减薄了5μm以上的、板厚为0.4mm以下的无碱玻璃基板，其比模量为32MNm/kg以上，光弹性常数为31nm/MPa/cm以下，该基板的玻璃的应变点为710℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10^‑7～43×10^‑7/℃，粘度达到10²dPa·s时的温度T₂为1710℃以下，粘度达到10⁴dPa·s时的温度T₄为1320℃以下，该玻璃的组成以基于氧化物的摩尔％计含有：SiO₂ 66～70、Al₂O₃ 12～15、B₂O₃ 0～1.5、MgO大于9.5且为13以下、CaO 4～9、SrO 0.5～4.5、BaO 0～1、ZrO₂ 0～2，MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上，MgO/(MgO+CaO)为0.40以上，MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。

主权项

一种无碱玻璃基板，其为通过氢氟酸(HF)蚀刻处理减薄了5μm以上的、板厚为0.4mm以下的无碱玻璃基板，所述无碱玻璃基板为下述无碱玻璃，减薄后的所述无碱玻璃基板的比模量为32MNm/kg以上，光弹性常数为31nm/MPa/cm以下，所述无碱玻璃的应变点为710℃以上，玻璃粘度达到10²dPa·s时的温度T₂为1710℃以下，玻璃粘度达到10⁴dPa·s时的温度T₄为1320℃以下，以基于氧化物的摩尔％计含有：MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.40以上，MgO/(MgO+CaO)为0.40以上，MgO/(MgO+SrO)为0.60以上。