[发明专利]用于真空隔绝的管路的适配器有效
| 申请号： | 201380024949.9 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN104685285B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | M·布勒斯 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康先进科技股份公司 |
| 主分类号： | F16L59/14 | 分类号： | F16L59/14;F16L41/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 梁冰,胡斌 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空适配器，其用于将真空隔绝的冷却剂管路(11、12、22、23)从周围大气环境穿引到真空加工设备中，所述真空适配器具有中间容腔(2)，所述中间容腔(2)一方面与真空隔绝的导入管路的至少一个隔绝中间腔(32、33)连接并且另一方面与真空泵连接。泵功率至少暂时被用于将围绕所述冷却剂管路(22、23)的隔绝中间腔抽成真空。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 隔绝 管路 适配器 | ||
【主权项】：
真空适配器（4），用于将冷却剂管路穿引到带有真空腔（1）的真空加工设备中，其中所述冷却剂管路在大气环境中在真空隔绝的导入管路（30、31）中得到导引，其特征在于，所述真空适配器（4）具有中间容腔（2），所述中间容腔（2）一方面与所述真空隔绝的导入管路（30、31）的至少一个隔绝中间腔（32、33）连接并且另一方面与真空泵连接。
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