[发明专利]用于为臭氧生产单元提供能量的紧凑的、可配置电源有效

专利信息
申请号: 201380022479.2 申请日: 2013-03-19
公开(公告)号: CN104321273A 公开(公告)日: 2015-01-28
发明(设计)人: 肯·特兰;田丰;陈星;李国华 申请(专利权)人: MKS仪器股份有限公司
主分类号: C01B13/11 分类号: C01B13/11;H02M7/537;H02M3/335;H02M1/36;H02M7/48;H02M7/538
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 余朦;杨莘
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成,同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制,以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻,直至输入DC总线已被有效初始化,该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
搜索关键词: 用于 臭氧 生产 单元 提供 能量 紧凑 配置 电源
【主权项】:
一种用于向至少一个臭氧生产单元供电的方法,包括:接收未调节的DC电压;以第一切换频率对所述未调节的DC电压进行切换;将被切换的DC电压转换为经调节的DC高压,所述经调节的DC高压远大于所述未调节的DC电压;以所述至少一个臭氧生产单元的优选操作频率范围内的第二切换频率对所述DC高压进行切换;以及通过串联电感将被切换的DC高压耦合至所述至少一个臭氧生产单元,所述串联电感与所述至少一个臭氧生产单元的内部电容共同形成所述臭氧生产单元的优选操作频率范围内的谐振,所述谐振适于使所述至少一个臭氧生产单元经受窄带、AC高压。
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