[发明专利]复合氧化物薄膜制造用组合物和使用该组合物的薄膜的制造方法、以及复合氧化物薄膜

摘要

本发明提供一种可以通过喷雾热分解法等形成能够适用于氧化物半导体膜等的复合氧化物薄膜的组合物以及使用该组合物形成复合氧化物薄膜的方法。本发明涉及一种复合氧化物制造用组合物，其含有选自含锌元素的化合物和含3B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物，以及选自含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物。本发明涉及复合氧化物薄膜的制造方法，该薄膜相对于可见光具有80%以上的平均透射率，所述方法包括在惰性气体气氛下将所述组合物涂布在基板表面上，接着进行至少一次对得到的涂膜加热的操作。

主权项

一种复合氧化物涂布制造用组合物，其含有（i）锌元素和（iii）选自4A族元素和4B族元素中的至少一种元素，或者含有（i）锌元素、（ii）选自3B族元素中的至少一种元素、和（iii）选自4A族元素和4B族元素中的至少一种元素，其中所述组合物含有：（I）将下述通式（1）表示的有机锌化合物与水以摩尔比为0.05～0.8范围的方式进行混合得到的部分水解物的至少一种、（III）选自含4A族元素的化合物和该化合物的通过水得到的部分水解物，以及含4B族元素的化合物和该化合物的通过水得到的部分水解物中的至少一种、以及（IV）有机溶剂，或者含有：（I）将下述通式（1）表示的有机锌化合物与水以摩尔比为0.05～0.8范围的方式进行混合得到的部分水解物的至少一种、（II）含3B族元素的化合物和该化合物的通过水得到的部分水解物、（III）选自含4A族元素的化合物和该化合物的通过水得到的部分水解物，以及含4B族元素的化合物和该化合物的通过水得到的部分水解物中的至少一种、以及（IV）有机溶剂，其中，所述4B族元素为Si、Ge和Sn，所述组合物为透明澄清的溶液，R1－Zn－R1  （1）式中，R1是碳数为1～7的直链或分支的烷基。