[发明专利]使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法有效
| 申请号： | 201380021677.7 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN105103265A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 唐国强;赵洪;李献华;李秋立;刘宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/26;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 | 代理人： | 谢亮;武寄萍 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种使用二次离子质谱仪分析气体样品的系统和方法，该系统包括：引出极、金属板和气体引入导管；所述引出极和所述金属板位于所述二次离子质谱仪的样品室内，所述引出极上设有用于通过一次离子的第一通孔、用于通过二次离子的第二通孔、以及用于穿过所述气体引入导管的第三通孔；所述气体引入导管穿过所述第三通孔后将所述气体样品引导至所述金属板的表面，所述气体样品在所述一次离子的轰击下形成所述二次离子；所述引出极和所述金属板之间形成电场，以使所述二次离子通过所述第二通孔飞离所述金属板进入所述二次离子质谱仪进行质量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 二次 离子 质谱仪 分析 气体 样品 系统 方法 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院地质与地球物理研究所，未经中国科学院地质与地球物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380021677.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体装置及半导体装置的制造方法
- 下一篇：旋转操作型电子部件
