[发明专利]与间接的冷却装置相匹配的靶有效
| 申请号： | 201380018809.0 | 申请日： | 2013-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN104204286B | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | S.克拉斯尼策尔;J.哈格曼 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面解决方案股份公司;普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 陈浩然,李婷 |
| 地址： | 瑞士普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶，其构造为用于气相沉积方法的材料源、带有前侧和背侧，其特征在于，在背侧处粘有自粘性的碳薄膜。靶可构造为用于溅射方法和/或用于阴极火花蒸镀方法的材料源。特别有利地，靶用在带有间接的冷却部的涂覆源中，其中，自粘性的碳薄膜与膜片处于面接触中，膜片为冷却通道的部件。 | ||
| 搜索关键词： | 间接 冷却 装置 匹配 | ||
【主权项】：
一种涂覆源，包括带有前侧和背侧的靶(601,701)，其背侧布置在源支架(605)的壁处，在源支架中集成有带有冷却通道(609)的间接的冷却部，其中，靶(601,701)通过合适的措施固定在源支架(605)上，且源支架(605)的壁构造为使冷却通道(609)与靶(601,701)的背侧分开的柔性的膜片(603)，靶(601,701)布置在该壁处，其特征在于，在靶的背侧处和/或在源支架的这样的壁处粘有自粘性的碳薄膜(607,705)，靶布置在源支架的该壁处。
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