[发明专利]全氟化合的分离及回收系统

摘要

本发明提供一种全氟化合物的分离及回收系统，用于处理在干式蚀刻工序和CVD清洁室等利用全氟化合物而生成且包含在排气产生设备中产生的粉尘的气体，其特征在于，包括：缓冲罐，在一侧形成有扩张管，所述扩张管供使在一个以上的排气产生设备产生的排气流入，截面以锥形扩张，缓冲罐从所述扩张管朝垂直下方长长地延长；水平分配管，一侧与所述缓冲罐的形成有扩张管的另一侧连接；膜分离过滤器，下端与所述水平分配管相连接，朝垂直上方延长，相隔规定间隔设置有多个；掺杂气体排放管道，聚合在多个膜分离过滤器没有通过分离膜的掺杂气体，然后使掺杂气体移动至再处理室；第一氮气回收管道，安装有第一真空泵，并通过辅助膜分离过滤器再次分离在所述第一真空泵吸收的氮气，然后使气体移动使得掺杂气体通过掺杂气体排放管道排放，而氮气再利用；第二氮气回收管道，安装有第二真空泵，并使氮气移动使得能再利用所述第二真空泵吸收的高纯度的氮气。

主权项

一种全氟化合物的分离及回收系统，用于处理在干式蚀刻工序和CVD清洁室等利用全氟化合物而生成且包含在排气产生设备中产生的粉尘的气体，其特征在于，包括：缓冲罐（1），在一侧形成有扩张管（11），所述扩张管供使在一个以上的排气产生设备产生的排气流入，截面以锥形扩张，缓冲罐从所述扩张管（11）朝垂直下方长长地延长；水平分配管（2），一侧与缓冲罐（1）的形成有扩张管（11）的另一侧连接，并朝水平方向长长地延长；多个膜分离过滤器（3），下端与所述水平分配管（2）相连接，朝垂直上方延长，在内部形成有分离膜，使得粒度小的氮气通过，而包含全氟化合物的掺杂气体不能通过，多个膜分离过滤器相隔开预定间隔设置；掺杂气体排放管道（4），聚合在多个膜分离过滤器（3）没有通过分离膜的掺杂气体，然后使掺杂气体移动至再处理室；第一氮气回收管道（5），安装有第一真空泵（51）用于聚合并吸收在所述多个膜分离过滤器（3）通过分离膜的氮气，并通过辅助膜分离过滤器（52）再次分离在所述第一真空泵（51）吸收的氮气，然后使气体移动使得掺杂气体通过掺杂气体排放管道（4）排放，而氮气再利用；第二氮气回收管道（6），安装有第二真空泵（61）用于吸收在所述辅助膜分离过滤器（52）通过分离膜的氮气，并使氮气移动使得能再利用所述第二真空泵（61）吸收的高纯度的氮气；回收管道（7），第一感应传感器（71）及第二感应传感器（72）分别感应经过所述第一氮气回收管道（5）的第一真空泵（51）及第二氮气回收管道（6）的第二真空泵（61）的之后的管道内的六氟化硫及三氟化氮，在经过第一真空泵（51）及第二真空泵（61）之后的管道分别设置第一3相阀门（73）及第二3相阀门（74），使得选择性地进行连接而聚合气体后，使气体再次进入到所述缓冲罐（1）。