[发明专利]图案形成方法和加热装置在审
| 申请号： | 201380016312.5 | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN104812503A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 村松诚;北野高广;富田忠利;田内启士 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05D7/24 | 分类号： | B05D7/24;B05C9/14;B05D3/02;B05D3/10;G03F7/004;G03F7/38;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在本发明中，在基板上形成图案时，在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜，在溶剂蒸气氛围下对该嵌段共聚物的膜进行加热，使得嵌段共聚物相分离，除去被相分离的嵌段共聚物的膜中的一种聚合物，因此，能够促进嵌段共聚物的聚合物的流动化，能够促进相分离。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种在基板上形成图案的图案形成方法，其特征在于，包括：在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜的步骤；在溶剂蒸气氛围下对所述嵌段共聚物的膜进行加热，使所述嵌段共聚物相分离的步骤；和将被相分离的所述嵌段共聚物的膜中的一种聚合物除去的步骤。
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