[发明专利]光量调节机构无效

专利信息
申请号: 201380014077.8 申请日: 2013-03-08
公开(公告)号: CN104160302A 公开(公告)日: 2014-11-19
发明(设计)人: 林邦广;赵鹏 申请(专利权)人: 株式会社拓普康
主分类号: G02B5/00 分类号: G02B5/00;G02B26/02;G03B11/00
代理公司: 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人: 郭放;许伟群
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种进行光衰减率的变更并防止在具有规定的束直径的光束内径向观察的透射率产生差别的光量调节机构,具有:形成平坦的入射面且透射率在入射面的方向观察时连续变化的入射侧滤光器部件(11);以及形成平坦的出射面并具有与入射侧滤光器部件(11)相等的光学浓度斜率的出射侧滤光器部件(12),在入射侧滤光器部件(11)中,以对于从入射面射入的光束的透射率连续变化的方向为位置调节方向(P),出射侧滤光器部件(12)的透射率减小方向与入射侧滤光器部件(11)的透射率减小的方向相反,且出射侧滤光器部件(12)沿位置调节方向(P)与入射侧滤光器部件(11)并列并进行与入射侧滤光器部件(11)间的沿位置调节方向(P)的相对移动。
搜索关键词: 调节 机构
【主权项】:
一种光量调节机构,其特征在于,具有:入射侧滤光器部件,其形成有平坦的入射面,且透射率在沿着上述入射面的方向观察时连续地变化;以及出射侧滤光器部件,其形成有平坦的出射面,并具有与上述入射侧滤光器部件相等的光学浓度斜率,在上述入射侧滤光器部件中,以针对从上述入射面射入的光束的透射率连续变化的方向作为位置调节方向,上述出射侧滤光器部件的使透射率减小的方向与上述入射侧滤光器部件的透射率减小的方向为相反的方向,上述出射侧滤光器部件沿上述位置调节方向与上述入射侧滤光器部件并列,并且能够进行与上述入射侧滤光器部件间的沿上述位置调节方向的相对移动。
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