[发明专利]使用化学气相沉积膜控制嵌段共聚物薄膜中的域取向有效
| 申请号： | 201380013521.4 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN104321700B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | C·G·威尔森;W·J·杜兰德;C·J·埃利森;C·M·贝茨;濑下武宏;J·卡申;L·J·桑托斯;L·迪安;E·L·劳施 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯大学体系董事会 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明使用真空沉积的材料薄膜，形成与下面的嵌段共聚物薄膜的不同域无优先相互作用的界面。无优先界面防止形成湿润层并影响嵌段共聚物内的域取向。沉积的聚合物的目的是在嵌段共聚物薄膜内产生可充当平版印刷图案的纳米结构特征。 | ||
| 搜索关键词： | 嵌段共聚物薄膜 取向 化学气相沉积 纳米结构特征 平版印刷图案 嵌段共聚物 材料薄膜 真空沉积 聚合物 膜控制 湿润层 沉积 | ||
【主权项】：
1.通过下述步骤实现嵌段共聚物的域取向的方法：a)在基底上涂布嵌段共聚物薄膜,b)通过在气相内沉积，在嵌段共聚物顶面上施加面涂层，生产层状结构，和c)使该层状结构退火。
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