[发明专利]辐射源与光刻设备有效
| 申请号： | 201380012738.3 | 申请日： | 2013-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN104160337A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | A·肯彭;J·迪杰克斯曼;W·梅特斯洛姆 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00;B01L3/02;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供一种监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，该辐射源燃料微滴流产生器包括容纳燃料毛细管以及压电致动器(500)。该方法包括分析包含该容纳燃料毛细管以及该压电致动器的系统的谐振频谱，尤其以寻找声学系统的谐振频率的改变，该改变可指示需要调查的该系统的属性的改变。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种监视辐射源燃料微滴流产生器的操作的方法，所述辐射源燃料微滴流产生器包括容纳燃料毛细管以及附接至所述毛细管的压电致动器，所述方法包括分析包含所述容纳燃料毛细管以及所述压电致动器的系统的谐振频谱。
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