[发明专利]旋涂硬掩模材料无效
| 申请号： | 201380008666.5 | 申请日： | 2013-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN104159956A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚什·弗罗姆霍尔德;亚历克斯·鲁滨逊;耶德萨达·马尼安姆 | 申请（专利权）人： | 伯明翰大学 |
| 主分类号： | C08K9/04 | 分类号： | C08K9/04;C01B31/02;C09C3/08;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 牛海军 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本文公开并要求保护的是一种用于形成旋涂硬掩模的组合物，所述组合物具有富勒烯衍生物和交联剂。进一步公开了用于形成硬旋涂硬掩模的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 旋涂硬掩模 材料 | ||
【主权项】：
一种用于形成旋涂硬掩模的组合物，所述组合物包含：a.由以下通式表示的富勒烯衍生物，其中n是1‑6的整数，所述富勒烯中的碳原子的数目Q是60、70、76、78、80、82或84，R1表示包括酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第一取代基，并且R2表示包括氢、卤素、C6‑C20芳基、C1‑C20烷基、酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第二取代基；b.交联剂，所述交联剂包含两个以上热反应性基团或催化反应性基团。
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