[实用新型]一种大尺寸石英玻璃精密气氛调节退火炉

摘要

本实用新型提供一种大尺寸石英玻璃精密气氛调节退火炉，包括：支架、炉体、底座、驱动装置、气氛调节系统和温度控制系统。炉体安置在支架上且其内部中空形成炉膛，炉膛内壁设有加热层，加热层之外设有保温层；底座置于炉体的正下方，底座上依次设有保温层、加热层以及主轴，主轴的上端连接有托盘；驱动装置连接底座和主轴，驱动主轴旋转以及驱动底座沿支架垂向滑动；气氛调节系统包括设置于炉体上的进气通道和出气通道，进气通道上设有压力、流量调节器；温度控制系统包括多个分散设置于炉膛内壁的热电偶以及控制器。本实用新型可对直径600-700mm的石英玻璃进行精密退火，并制备结构浓度不同的石英玻璃，同时退火后应力双折射值达Ⅰ-Ⅱ类的要求。

主权项

一种大尺寸石英玻璃精密气氛调节退火炉，其特征在于，该退火炉包括：支架、炉体、底座、驱动装置、气氛调节系统以及温度控制系统；其中，所述炉体安置在所述支架上，且所述炉体内部中空以形成炉膛，所述炉膛内壁设置有加热层，所述加热层与所述炉膛内壁之间设置有保温层；所述底座安置于所述炉体的正下方，且滑动连接于所述支架，所述底座上依次铺设有保温层和加热层，所述底座上还设置有主轴，所述主轴穿过所述底座以及所述底座上的保温层和加热层，所述主轴的上端连接有托盘；所述驱动装置分别连接所述底座、所述主轴，用于驱动所述底座沿着所述支架垂向滑动以及驱动所述主轴旋转；所述气氛调节系统包括进气通道、出气通道以及压力、流量调节器；所述进气通道、出气通道设置于所述炉体上，所述压力、流量调节器设置于所述进气通道上；所述温度控制系统包括多个热电偶以及控制器，所述多个热电偶分散地设置于所述炉膛内壁，所述控制器与所述多个热电偶以及所述加热层连接。