[实用新型]一种尾气冷却装置有效
申请号: | 201320844137.6 | 申请日: | 2013-12-19 |
公开(公告)号: | CN203744772U | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 卢言晓;董金卫;杨帅 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | F28D7/10 | 分类号: | F28D7/10;F28F9/24 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李迪 |
地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体领域,具体涉及一种尾气冷却装置,该装置包括:冷却外罩、尾气输送管道、障碍物,其中:障碍物安装在尾气输送管道中。本实用新型解决了由于冷却装置比较短小,加之尾气气流速度快,因此热交换效率低,实际冷却效果不好的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 尾气 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种尾气冷却装置,其特征在于,该装置包括:冷却外罩、尾气输送管道、障碍物,其中:障碍物安装在尾气输送管道中。
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