[实用新型]一种生产线用门体结构有效
申请号: | 201320829033.8 | 申请日: | 2013-12-16 |
公开(公告)号: | CN203807552U | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 411101 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种生产线用门体结构,该门体机构用于镀膜生产线的各腔室的门,各门体机构尺寸一致,门体左右两侧均能自由开合;室门与门框间通过多组密封组件可拆卸连接,密封组件包括铰链装置和紧锁件。与现有技术相比,本实用新型中真空镀膜生产线的各腔室门体均采用尺寸一致的门体机构,使得各腔室门体依据镀膜区域工艺可进行随时调整,随时根据两面膜层的结构设计来更换靶门布局适应镀膜要求,使生产线能随时进行升级改进,顺应膜层的发展更新换代,节约生产线成本;门体机构均为活动可拆卸,室门与门框间通过可拆卸的采用双轴结构的密封组件固定,提高镀膜腔室的密封效果,满足镀膜工艺的真空度要求,因此本实用新型具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产线 用门体 结构 | ||
【主权项】:
一种生产线用门体结构,其特征在于:所述门体结构配置于真空镀膜生产线中的各功能腔室,所述门体结构包括室门和门框,所述室门的两侧均与门框活动连接,各功能腔室配置的所述门体机构尺寸及配置各功能腔室的方式均一致; 所述室门的两侧与门框通过多组密封组件与门框可拆卸活动连接;室门两侧的密封组件位置对应;所述密封组件包括铰链件和紧锁件,所述铰链件连接室门与门框,所述室门经铰链件开合,所述紧锁件安装在门框上;所述铰链件包括第一铰链件、第二铰链件和辅助铰链件,其中所述第一铰链件与室门连接,所述第二铰链件与门框连接,所述辅助铰链件分别连接第一铰链件和第二铰链件;所述第一铰链件包括第一铰链座和第一铰链轴,所述第二铰链件包括第二铰链座和第二铰链轴,所述第一铰链座和辅助铰链件同第一铰链轴转动,所述第二铰链座和辅助铰链件同第二铰链轴转动,且第二铰链座与辅助铰链座间设有轴承。
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