[实用新型]声表面波传感器复合敏感膜的制备装置有效
| 申请号： | 201320665531.3 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN203519568U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 胡佳;李臻;李维龙;黄双双;张婧 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G01N29/22 | 分类号： | G01N29/22;G01N29/02 |
| 代理公司： | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 230001 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种声表面波传感器复合敏感膜的制备装置，包括出口对准声表面波器件的表面的至少两个气喷雾沉积装置，不同的气喷雾沉积装置中填装不同材料的溶液，所有气喷雾沉积装置在一个声表面波器件的表面上同时沉积多种材料，获得复合敏感膜。本实用新型的优点在于：使用本实用新型的装置可制备出传统溶液法所不能制备出的复合敏感膜。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 传感器 复合 敏感 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种声表面波传感器复合敏感膜的制备装置，其特征在于：包括出口对准声表面波器件(3)的表面的至少两个气喷雾沉积装置，不同的气喷雾沉积装置中填装不同材料的溶液。
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