[实用新型]磨片机游星片的改良构造有效
| 申请号： | 201320582446.0 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN203460048U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 苏荣义;李海龙;陈宗永;孙振生;周明月;许建虹 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 孙春玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磨片机游星片的改良构造，包括内圈、外圈、外圈带动齿，它们组成一个圆形的磨片机游星片；内圈、外圈结合处设有波纹状接合；外圈为钢材质，内圈为树脂材质。本实用新型磨片机游星片的改良构造内的部树脂材质，可以起到减缓加工时的冲击力的作用，保护了工件，降低了硅片边缘崩边、缺口的几率；外圈钢圈部分起到加强机械强度，支撑内部较软材质平面形状的作用；波纹状咬合可以避免其它形状造成的内外圈配合困难、存放复杂、加工时挂带磨盘槽造成整盘工件报废的情况，提高了合格率，而且具有结构简单，加工成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 磨片机 游星 改良 构造 | ||
【主权项】：
一种磨片机游星片的改良构造，其特征在于：包括内圈、外圈、外圈带动齿，它们组成一个圆形的磨片机游星片。
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