[实用新型]激光干涉抛物面对称测量装置有效
| 申请号： | 201320569558.2 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN203672332U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 薛黎明;刘伯昂 | 申请（专利权）人： | 中海阳能源集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 102200 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光干涉抛物面对称测量装置，包括测试搭载部和检测部，其中，测试搭载部包括标准反射镜单元和用于接收干涉图样的截取屏，检测部包括光栅屏和固定于其上的激光柱状光源，激光柱状光源设置在光栅屏的中间对称面上，待测反射镜单元与标准反射镜单元也以中间对称面对称安装；以中间对称面为对称，光栅屏上设置有若干对相互平行且能够独立开闭的光栅，一对相互对称的光栅分别对应于待测反射镜单元、标准反射镜单元上相同的曲率片段，若干对相互对称的光栅分别依次对应于镜面上的不同曲率片段。本实用新型应用槽式抛物面反射镜、双缝干涉的光反射、衍射及干涉原理，以达到通过对称反射逐段检测曲面误差的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 干涉 抛物面 对称 测量 装置 | ||
【主权项】：
激光干涉抛物面对称测量装置，其特征在于，该测量装置包括测试搭载部和检测部，其中，测试搭载部包括标准反射镜单元和用于接收干涉图样的截取屏，检测部包括光栅屏和固定于其上的激光柱状光源，激光柱状光源设置在光栅屏的中间对称面上，并且，待测反射镜单元与标准反射镜单元也以中间对称面对称安装；以中间对称面为对称，光栅屏上设置有若干对相互平行且能够独立开闭的光栅，一对相互对称的光栅分别对应于待测反射镜单元、标准反射镜单元上相同的曲率片段，若干对相互对称的光栅分别依次对应于镜面上的不同曲率片段；各个曲率片段反射光透过光栅后在截取屏上形成干涉条纹或像，依据条纹对称性或像的位置做出判断，确定待测反射镜单元与标准反射镜单元在相同曲率片段上的曲面加工误差。
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