[实用新型]探针装置有效
| 申请号： | 201320566428.3 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN203535079U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 黄大猷;彭柏翰;蓝关喜;徐明德;刘孟锜 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 王正茂;丛芳 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针装置，其包含力臂、探针座、探针和至少一个感应元件。力臂的一端用以固定在点测机上。力臂具有贯穿的镂空区，且力臂为一体成型的金属块。探针座连接于力臂相对于点测机的另一端。探针连接于探针座相对于力臂的另一端。感应元件位于力臂上。当力臂受力而变形时，感应元件随力臂的变形量而产生观测值变化。本实用新型探针装置可以提升测量针压的准确度，且灵敏度高，故不会使晶圆上升过冲，进而不会使得探针装置上的探针损坏晶圆；还可以使得探针装置上的探针减少磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种探针装置，其特征在于，包含：力臂，其一端用以固定在点测机上，其中所述力臂具有贯穿的镂空区，且所述力臂为一体成型的金属块；探针座，其连接于所述力臂相对于所述点测机的另一端；探针，其连接于所述探针座相对于所述力臂的另一端；以及至少一个感应元件，其位于所述力臂上，其中当所述力臂受力而变形时，至少一个所述感应元件随所述力臂的变形量而产生观测值变化。
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