[实用新型]便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔有效
申请号: | 201320536409.6 | 申请日: | 2013-08-30 |
公开(公告)号: | CN203425679U | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 曾绎聪;孙统畅;孙益鹏;孟祥好;夏友龙 | 申请(专利权)人: | 晶旺光电(徐州)有限公司 |
主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;B01D53/58;B08B9/027 |
代理公司: | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人: | 李中华 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔,包括塔体、加酸管路、气体管路、开关按钮、操控显示屏和内部压力表,加酸管路通过加酸口与塔体相连接,气体管路通过塔体表面的通孔插入塔体内部,内部压力表、操控显示屏和开关按钮从上至下依次设置于塔体的外壁上,还包括硫酸导向管和阀门,硫酸导向管的一端与所述的加酸管路相通,另一端通过阀门与气体管路相连。有益效果是在对气体管路中的结晶物进行清洁时,无需将MOCVD停机,不会对正常的生产过程造成影响;同时,在进行清洁的过程中操作人员与氨气是隔离开来的,不会对身体造成伤害,操作安全方便。 | ||
搜索关键词: | 便于 内部 气体 管路 清洁 氨气 洗涤 | ||
【主权项】:
一种便于内部气体管路清洁的氨气洗涤塔,包括塔体(5)、加酸管路(1)、气体管路(4)、开关按钮(8)、操控显示屏(9)和内部压力表(10),加酸管路(1)通过加酸口与塔体(5)相连接,气体管路(4)通过塔体(5)表面的通孔插入塔体(5)内部,内部压力表(10)、操控显示屏(9)和开关按钮(8)从上至下依次设置于塔体(5)的外壁上,其特征在于,还包括硫酸导向管(2)和阀门(3),硫酸导向管(2)的一端与所述的加酸管路(1)相通,另一端通过阀门(3)与气体管路(4)相连。
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