[实用新型]一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置

摘要

本实用新型公开了一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，包括由炉外罐和炉内罐组成的化学气相沉积炉，还包括底板、炉盖和多层由下至上布设的水平隔板，位于最顶层的水平隔板上方设置有一个封气板，上下相邻两层水平隔板之间、封气板与位于最顶层的水平隔板之间以及底板与位于最底层的水平隔板之间均形成一个沉积室；位于顶部沉积室下方的各沉积室内侧中部均安装有一个竖向进气管节，多个竖向进气管节由上至下布设在炉内罐的中心轴线上；底板中部和顶层水平隔板下方的各水平隔板中部均开有竖向通孔。本实用新型结构简单、设计合理且装炉简单、使用操作简便、使用效果好，能有效提高所制备产品的致密均匀性及装炉量，并能缩短制备周期。

主权项

一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，包括由炉外罐和炉内罐（1）组成的化学气相沉积炉，其特征在于：还包括水平安装在炉内罐（1）底部的底板（2）、密封安装在炉内罐（1）上部的炉盖（3）和多层由下至上布设在炉内罐（1）内的水平隔板（4），多层所述水平隔板（4）布设于底板（2）与水平隔板（4）之间，位于最顶层的水平隔板（4）上方设置有一个呈水平向的封气板（8），上下相邻两层所述水平隔板（4）之间、封气板（8）与位于最顶层的水平隔板（4）之间以及所述底板（2）与位于最底层的水平隔板（4）之间均通过多个呈竖直向布设的石墨支撑柱（5）进行分隔，所述水平隔板（4）和底板（2）均为石墨隔板；上下相邻两层所述水平隔板（4）之间、封气板（8）与位于最顶层的水平隔板（4）之间以及所述底板（2）与位于最底层的水平隔板（4）之间均形成一个独立的沉积室，所述沉积室的数量为多个，多个所述沉积室由上至下进行布设且所述沉积室的数量为N+1个，其中N为所述水平隔板（4）的数量；多个所述沉积室的内部高度均大于需致密炭/炭坩埚坯体（9）的竖向高度；多个所述沉积室中位于顶部的沉积室为顶部沉积室，位于所述顶部沉积室下方的各沉积室的内侧中部均安装有一个竖向进气管节，每个所述竖向进气管节上均开有向所处沉积室内通入碳源气体的出气孔；所述竖向进气管节的数量为多个，多个所述竖向进气管节由上至下布设在炉内罐（1）的中心轴线上；位于最顶层的水平隔板（4）为顶层隔板，所述底板（2）中部和位于所述顶层隔板下方的各水平隔板（4）中部均开有一个将上下相邻两个所述竖向进气管节进行连通的竖向通孔；多个所述竖向进气管节中位于底部的竖向进气管节为底部管节，所述底部管节安装在底板（2）中部，所述炉内罐（1）底部安装有底部进气管（7），所述底部进气管（7）由下至上插入所述底部管节内；所述炉盖（3）的中部开有出气口（10）。