[实用新型]一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置有效
| 申请号： | 201320478076.6 | 申请日： | 2013-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN203433266U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 梁小朝;黄源;尹云舰;陈栋其;王小眉 | 申请（专利权）人： | 杭州格林达化学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、纳滤装置和浓缩装置，废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，第一过滤装置的上部出口与溶解槽的第一进口连通，第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，溶解槽的第二进口为溶剂进口，溶解槽的出口与第二过滤装置的进口连通，第二过滤装置的上部出口为残渣出口，第二过滤装置的下部出口与纳滤装置的入口连通，纳滤装置的第一出口为树脂出口，纳滤装置的第二出口为杂质出口，纳滤装置的第一出口与浓缩装置的入口连通，浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。本实用新型降低成本、环保性良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 光刻 树脂 回收 再利用 装置 | ||
【主权项】：
一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置，其特征在于：所述回收再利用装置包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、纳滤装置和浓缩装置，所述废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口，所述废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接，所述第一过滤装置的上部出口与所述溶解槽的第一进口连通，所述第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口，所述溶解槽的第二进口为溶剂进口，所述溶解槽的出口与所述第二过滤装置的进口连通，所述第二过滤装置的上部出口为残渣出口，所述第二过滤装置的下部出口与所述纳滤装置的入口连通，所述纳滤装置的第一出口为树脂出口，所述纳滤装置的第二出口为杂质出口，所述纳滤装置的第一出口与所述浓缩装置的入口连通，所述浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。
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