[实用新型]光掩模板导向片去除机有效

专利信息
申请号: 201320475833.4 申请日: 2013-08-05
公开(公告)号: CN203422555U 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: 凌震军 申请(专利权)人: 上海凸版光掩模有限公司
主分类号: G03F1/82 分类号: G03F1/82
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 李仪萍
地址: 200233 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种光掩模板导向片去除机,包括支架;所述支架包括面板及用以支撑所述面板的至少两个支脚;所述面板中设有第一通槽;所述第一通槽侧边设有台阶、第二通槽及第三通槽;用以加热导向片的两个加热电极,分别装设于两个电极支架上;两个电极支架装设于靠近所述第三通槽一侧的支脚上;所述加热电极顶面正对所述第三通槽;电源模块,通过导线分别与两个加热电极连接;定时模块及温控模块,分别与所述电源模块相连;用以固定光掩模板的至少两个转动压片,装设于所述第一通槽纵向两侧的所述面板上。采用本实用新型的光掩模板导向片去除机去除导向片温度可调节,加热接触面增大,能同时加热两个导向片,省时省力,工艺受控。
搜索关键词: 模板 导向 去除
【主权项】:
一种光掩模板导向片去除机,其特征在于,所述光掩模板导向片去除机至少包括:支架;所述支架包括面板及安装于所述面板横向两侧用以支撑所述面板的至少两个支脚;所述面板中设有第一通槽;所述第一通槽纵向侧边的底部相向延伸设有用于承载光掩模板的台阶;所述第一通槽横向两侧分别设有第二通槽及第三通槽;所述第二通槽的长度小于所述第一通槽的长度;所述第三通槽的长度大于所述第一通槽的长度;用以加热导向片的两个加热电极;所述加热电极分别装设于两个电极支架上;两个电极支架装设于靠近所述第三通槽一侧的支脚上;所述加热电极顶面正对所述第三通槽;电源模块;所述电源模块通过导线分别与两个加热电极连接;用以设定加热时间的定时模块及用以设定加热温度的温控模块,所述定时模块及所述温控模块分别与所述电源模块相连;用以固定光掩模板的至少两个转动压片,装设于所述第一通槽纵向两侧的所述面板上。
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