[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201320424868.5 | 申请日: | 2013-07-17 |
公开(公告)号: | CN203360622U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 瞿海斌;陈国红;蒋益民 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉,包括石英坩埚和石英坩埚外侧的石墨护板,所述石墨护板由上护板、顶端与上护板底端对接的下护板组成,所述上护板由多块高度相同的上侧板合围而成,所述下护板由多块高度相同的下侧板合围而成;所述上侧板的高度小于下侧板的高度。本实用新型通过改进石墨护板的结构,可在某一块侧板损坏后卸下该块侧板,不影响其他侧板的使用,进而可降低多晶硅铸锭炉中石墨护板的使用成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉,包括石英坩埚(4)和石英坩埚(4)外侧的石墨护板,其特征是,所述石墨护板由上护板、顶端与上护板底端对接的下护板组成,所述上护板由多块高度相同的上侧板(2)合围而成,所述下护板由多块高度相同的下侧板(3)合围而成;所述上侧板(2)的高度小于下侧板(3)的高度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南红太阳光电科技有限公司,未经湖南红太阳光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320424868.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。