[实用新型]应用于MOCVD反应室的双波长径向移动比色测温仪

摘要

本实用新型公开了一种应用于MOCVD反应室的双波长径向移动比色测温仪，包括红外辐射探头盒体，特征是：在红外辐射探头盒体内的中央设有分光片腔，在分光片腔中斜向放置有45度分光片，在红外辐射探头盒体内的上端设有上滤光片和上光感探测器，在红外辐射探头盒体内的右端设有右滤光片和右光感探测器；在微型精密电控平移台上设有步进电机和丝杆，红外辐射探头盒体固定在丝杆的滑块上，丝杆径向安装在MOCVD反应室的石英光学视窗的正上方，使得测温探头的进光孔的下端对准MOCVD反应室的顶板上的石英光学视窗下方的喷头喷孔。在步进电机的驱动下，测温探头可以沿径向探测所有喷孔对应的温度。本实用新型具有采用双波长比色测温法、能精确、细致地测量MOCVD反应室绝对温度分布、不需要对喷孔大小进行校准、操作方便实用的优点。

主权项

一种应用于MOCVD反应室的双波长径向移动比色测温仪，包括“T”形的红外辐射探头盒体，特征是：在红外辐射探头盒体内的中央设有圆柱状的分光片腔，在分光片腔中斜向放置有与水平呈45度分光片，在红外辐射探头盒体内的上面、下面和右面分别设有与分光片腔相通的上出光孔、进光孔和右出光孔，上出光孔和进光孔在同一直线上，右出光孔与上出光孔、进光孔垂直，在红外辐射探头盒体内的上端、上出光孔的上方设有上滤光片和上光感探测器，在红外辐射探头盒体内的右端、右出光孔的右边设有右滤光片和右光感探测器；在MOCVD反应室上安装有微型精密电控平移台，在微型精密电控平移台上设有步进电机和丝杆，在步进电机驱动的丝杆上安装有滑块，红外辐射探头盒体固定在滑块上，红外辐射探头盒体内的探测940nm红外信号的上光感探测器和探测1550nm红外信号的右光感探测器分别通过导线与测温探头电路盒的输入端连接，测温探头电路盒的输出端与上位机的输入端连接，步进电机的丝杆安装在MOCVD反应室的石英光学视窗的正上方，使得红外辐射探头的进光孔的下端对准MOCVD反应室的顶板上石英光学视窗下方的喷孔。