[实用新型]一种微型傅里叶变换光谱仪有效
| 申请号： | 201320374721.X | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN203396702U | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王元光;谢会开;陈巧;兰树明;王东琳;周正伟 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 214028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微型傅里叶变换光谱仪，包括光源、干涉系统，所述干涉系统包括第一分光镜、动镜、固定镜，所述光源射出的光束照射到所述第一分光镜上，所述第一分光镜将光束分成两路，一路照射到动镜，一路照射到固定镜，经动镜与固定镜反射的两束光再反射到第一分光镜上，形成干涉光路，并产生干涉条纹，所述动镜为MEMS微镜，所述固定镜为MEMS微镜或平面镜，固定镜是MEMS微镜时通过产生位移并进行相位调制。本实用新型微型傅里叶变换光谱仪精度准确、体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 傅里叶变换 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种微型傅里叶变换光谱仪，包括光源(1)、干涉系统，所述干涉系统包括第一分光镜(5)、动镜(7)、固定镜(6)，所述光源(1)射出的光束照射到所述第一分光镜(5)上，所述第一分光镜(5)将光束分成两路，一路照射到动镜(7)，一路照射到固定镜(6)，经动镜(7)与固定镜(6)反射的两束光再反射到第一分光镜(5)上，形成干涉光路，并产生干涉条纹，其特征在于：所述动镜(7)为MEMS微镜，所述固定镜(6)为MEMS微镜或平面镜。
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