[实用新型]射频自动匹配的调整装置有效
| 申请号： | 201320287499.X | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203416493U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡辉旭;马志兵;刘敏强 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种射频自动匹配的调整装置，属于射频匹配领域。该装置包括：驱动装置、主同步轮、从同步轮和齿形传动带；其中，主同步轮设置在所述驱动装置的动力轴上；主同步轮经所述齿形传动带驱动所述从同步轮，从同步轮的转轴用于连接被调节的可变电容。该调整装置通过驱动装置经绝缘齿形传动带驱动主、从同步轮，可以实现对射频同步匹配中的可变电容进行自动以及更精确的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 自动 匹配 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种射频自动匹配的调整装置，其特征在于，包括：驱动装置、主同步轮、从同步轮和绝缘齿形传动带；其中，所述主同步轮设置在所述驱动装置的动力轴上；所述主同步轮经所述齿形传动带驱动所述从同步轮，从同步轮的转轴用于连接被调节的可变电容。
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