[实用新型]可调短距离快速升降温蒸镀炉有效
| 申请号： | 201320272794.8 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN203270022U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 邾根祥;江晓平;方辉 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调短距离快速升降温蒸镀炉，该蒸镀炉包括上加热台及下加热台，所述上加热台及下加热台上下相对置于槽型支架内，所述上加热台具有沿槽型支架上下移动的自由度，所述下加热台具有沿槽型支架底部旋转的自由度；所述上加热台底部设有可承载蒸镀基片的载样台，下加热台顶部设有与载样台相对的蒸镀源，所述上加热台及下加热台中插设有短波红外灯管，所述上加热台及下加热台内部开设相通的进出气口、冷却水进出口。本实用新型利用双温场上下对置模式，采用水冷腔体，上下加热台可以在最短的距离内实现比以往设备都大很多的温差，上下加热台的距离调节增大和减小了蒸镀距离和上下温场的温差，使得固相的蒸镀实现了可调。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 短距离 快速 升降 温蒸镀炉 | ||
【主权项】：
一种可调短距离快速升降温蒸镀炉，包括加热台，其特征在于：所述加热台分为上加热台及下加热台，所述上加热台及下加热台上下相对置于槽型支架内，所述上加热台具有沿槽型支架上下移动的自由度，所述下加热台具有沿槽型支架底部旋转的自由度；所述上加热台底部设有可承载蒸镀基片的载样台，下加热台顶部设有与载样台相对的蒸镀源，所述上加热台及下加热台中插设有短波红外灯管，所述上加热台及下加热台内部开设相通的进出气口、冷却水进出口。
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