[实用新型]多功能研磨液供应结构及研磨装置有效
| 申请号： | 201320260006.3 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN203245737U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B53/017;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种多功能研磨液供应结构，包括横向设置的臂杆以及穿设于所述臂杆内的研磨液管和清洗管，还包括环形导轨，所述环形导轨环绕设置于研磨平台的周缘外侧，所述臂杆的一端与所述环形导轨滑动连接，所述臂杆能够沿所述环形导轨转动，所述清洗管上设有向上喷射的清洗液的喷口。本实用新型还公开了一种研磨装置。本实用新型提供的多功能研磨液供应结构及研磨装置，不但可以实现研磨液的供应和研磨垫的清洗，而且可以在晶圆和研磨垫不接触的情况，实现对晶圆的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 研磨 供应 结构 装置 | ||
【主权项】：
一种多功能研磨液供应结构，包括横向设置的臂杆以及穿设于所述臂杆内的研磨液管和清洗管，其特征在于，还包括环形导轨，所述环形导轨环绕设置于研磨平台的周缘外侧，所述臂杆的一端与所述环形导轨滑动连接，所述臂杆能够沿所述环形导轨转动，所述清洗管上设有向上喷射的清洗液的喷口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320260006.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：拼合式金刚石异形砂轮
- 下一篇：一种液压阀片的打磨夹具
