[实用新型]一种柔性面板连续无掩膜光刻装置有效
| 申请号： | 201320236691.6 | 申请日： | 2013-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN203241698U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 梅文辉;杜卫冲 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人： | 杨连华 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于柔性面板连续无掩膜光刻方法的柔性面板连续无掩膜光刻装置，其技术方案的要点是，包括基座，所述的基座上设有光刻基板，所述的光刻基板上方设有光刻组件，所述的光刻基板的两侧分别设有卷出装置和收卷装置，所述的光刻基板上设有抽气定位孔，所述的光刻基板的下方设有与所述的抽气定位孔相通的抽吸装置。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能连续无掩膜光刻柔性面板的柔性面板连续无掩膜光刻装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 面板 连续 无掩膜 光刻 装置 | ||
【主权项】：
一种柔性面板连续无掩膜光刻装置，其特征在于：包括基座（1），所述的基座（1）上设有光刻基板（2），所述的光刻基板（2）上方设有光刻组件（3），所述的光刻基板（2）的两侧分别设有卷出装置（4）和收卷装置（5），所述的光刻基板（2）上设有抽气定位孔（201），所述的光刻基板（2）的下方设有与所述的抽气定位孔（201）相通的抽吸装置（6）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山新诺科技有限公司，未经中山新诺科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320236691.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种仿机械式的石英手表机芯
- 下一篇：照相机附件和照相机
