[实用新型]一种立式真空管式炉有效
| 申请号： | 201320214350.9 | 申请日： | 2013-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN203231643U | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 孔令杰 | 申请（专利权）人： | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/02 | 分类号： | F27B17/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230041 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种立式真空管式炉，它包括下箱体，下箱体上设有支撑杆，支撑杆上设有炉体，下箱体上设有气体流量控制装置，支撑杆上设有旋转支撑架，所述的旋转支撑架通过法兰固定连接有炉管，炉管内部设有样品放置架，样品放置架两侧分别设有测温传感器和气氛喷射器，且所述的旋转支撑架上还设有升降按钮，炉管通过旋转支撑架沿支撑杆轴向旋转，本实用新型利用了新型的结构简单，它可以实现薄膜生长，电极测试，也可作为氧化物晶体生长，退火等用途，同时能够实现快速升降温，操作便捷，升温速度高达100℃/min，节约了工时功效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 真空管 | ||
【主权项】：
一种立式真空管式炉，它包括下箱体，下箱体上设有支撑杆，支撑杆上设有炉体，其特征在于：下箱体上设有气体流量控制装置，支撑杆上设有旋转支撑架，所述的旋转支撑架通过法兰固定连接有炉管，炉管内部设有样品放置架，样品放置架两侧分别设有测温传感器和气氛喷射器，且所述的旋转支撑架上还设有升降按钮。
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