[实用新型]一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置有效
申请号: | 201320211484.5 | 申请日: | 2013-04-23 |
公开(公告)号: | CN203284505U | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 徐永亮;张国华;吴智洪 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 321037 浙江省金*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置,其热屏升降结构安装在坩埚升降结构的坩埚升降盘上,能够带动热屏相对于坩埚升降盘运动;通过共用一个坩埚升降盘,可以实现独立控制升降,互不干涉;结构小型化,大大降低成本;以上优点为晶体生长作了强有力的后盾,通过坩埚升降结构对坩埚进行定位,通过热屏升降结构对热屏进行升降,从而实现晶体生长全过程所需的温度梯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 坩埚 升降 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长炉坩埚/热屏升降装置,包括用于带动坩埚(2)运动的坩埚升降结构和用于带动运动热屏(5)运动的热屏升降结构,其特征在于,所述热屏升降结构安装在所述坩埚升降结构的坩埚升降盘(8)上,能够带动所述热屏(5)相对于所述坩埚升降盘(8)运动。
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