[实用新型]新型的多孔钽加工室结构有效
申请号: | 201320187070.3 | 申请日: | 2013-04-16 |
公开(公告)号: | CN203174182U | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 郭建明;杨艳文;郭建军 | 申请(专利权)人: | 青岛高泰新材料有限公司 |
主分类号: | C22C1/08 | 分类号: | C22C1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种结构简单、提高多孔钽加工效果的新型的多孔钽加工室结构。技术方案是:包括加工室(1),其特征是在所述加工室(1)一侧壁上设置有保护气进口(2),在相对的另一侧壁上设置两个以上的保护气出口(3)。在加工室(1)的顶部设置有激光孔(4)。所述加工室(1)底部设置有升降平台通道(5)。 | ||
搜索关键词: | 新型 多孔 加工 结构 | ||
【主权项】:
新型的多孔钽加工室结构,包括加工室(1),其特征是在所述加工室(1)一侧壁上设置有保护气进口(2),在相对的另一侧壁上设置两个以上的保护气出口(3)。
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