[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 201320175208.8 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN203144505U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 罗阳;贺雄;韩乔楠;孟健 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种清洁装置，涉及液晶显示器的生产设备技术领域，解决了使用现有的清洁装置会导致对镀膜腔体的清洁成本增加的问题。本实用新型实施例提供了一种清洁装置，用于清洁至少一个镀膜腔体，包括一进气管，一输气管，一等离子源单元，至少一个镀膜腔体以及与所述镀膜腔体对应的至少一个泵体；所述进气管气密性连接所述等离子源单元；所述输气管的一端气密性连接所述等离子源单元；每一个所述镀膜腔体与所述输气管的另一端气密性连接，且每一个所述镀膜腔体气密性连接一个所述泵体本实用新型实施例主要用于在液晶显示器的生产过程中，对镀膜腔体内沉积的薄膜进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种清洁装置，其特征在于，包括一进气管，一输气管，一等离子源单元，至少一个镀膜腔体以及与所述镀膜腔体对应的至少一个泵体；所述进气管气密性连接所述等离子源单元；所述输气管的一端气密性连接所述等离子源单元；每一个所述镀膜腔体与所述输气管的另一端气密性连接，且每一个所述镀膜腔体气密性连接一个所述泵体。
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