[实用新型]超声波矽晶镀膜设备有效
| 申请号： | 201320158326.8 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN203140255U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 薛振峰 | 申请（专利权）人： | 薛振峰 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种超声波矽晶镀膜设备，尤指一种消除气泡的超声波镀膜结构。本实用新型包含有：一个转盘、一个超声波震荡器。其中转盘设有一个真空吸附盘面，该超声波震荡器设置在转盘的底部，借此，欲进行镀膜的矽晶片得以放在转盘的真空吸附盘面上，再启动真空吸附盘面真空吸附矽晶片，其后在矽晶片上放上镀膜液，在转盘离心旋转的镀膜过程前，该超声波震荡器先以超声波震荡矽晶片，使得气泡被震离镀膜液，达到可消除气泡的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种超声波矽晶镀膜设备，包括一个转盘及一个超声波震荡器，其特征是：所述转盘设有一个真空吸附盘面；所述超声波震荡器设置在转盘的底部。
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