[实用新型]一种石墨部件净化装置

摘要

本实用新型涉及一种石墨部件净化装置，该装置包括设有底座且呈圆筒状的外壳、置于所述外壳一侧的密封门、置于所述外壳内的空腔和置于所述空腔内的放置石墨部件的支架；所述外壳上均布有与电源相连的三个带有冷却水夹套的电极，其上部设有尾气管口，其底部设有进气管口；所述外壳与所述空腔相接处设有隔热石墨网；所述空腔与所述支架之间设有三个石墨电极，该三个石墨电极与所述三个带有冷却水夹套的电极一一对应相接；所述尾气管口与真空泵相连；所述进气管口与氯气罐相连。本实用新型可以有效地将石墨部件内的杂质除掉，从而保证多晶硅的纯度。

主权项

一种石墨部件净化装置，其特征在于：该装置包括设有底座且呈圆筒状的外壳（4）、置于所述外壳（4）一侧的密封门（11）、置于所述外壳（4）内的空腔和置于所述空腔内的放置石墨部件（7）的支架（6）；所述外壳（4）上均布有与电源相连的三个带有冷却水夹套的电极（1），其上部设有尾气管口（9），其底部设有进气管口（10）；所述外壳（4）与所述空腔相接处设有隔热石墨网（5）；所述空腔与所述支架（6）之间设有三个石墨电极（8），该三个石墨电极（8）与所述三个带有冷却水夹套的电极（1）一一对应相接；所述尾气管口（9）与真空泵相连；所述进气管口（10）与氯气罐相连。