[实用新型]用于多晶硅铸锭炉的圆周径向型热交换台

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶硅铸锭炉的圆周径向型热交换台，包括热交换板，径向分流板和分流基板，径向分流板的上部与热交换板固定连接，径向分流板的下部与分流基板固定连接，在热交换板的下部开有以中心向外部成辐射状布置的通气槽，径向分流板上开有多个贯通的并且呈阵列状分布的分流气孔，该分流气孔与通气槽连通，并且多个分流气孔的横截面积在径向分流板的径向方向上逐渐增大，分流基板的中部设置有进气孔，热交换板和径向分流板之间设置有封闭的汇流气道，径向分流板和分流基板之间设置有出气通道和分流室，该分流室分别与进气孔和分流气孔连通，通气槽通过汇流气道与出气通道连通。本实用新型在热交换降温时，能够使坩埚底部的温度冷却均匀，优化了热交换台的热场，提高了坩埚内铸锭长晶质量。

主权项

一种用于多晶硅铸锭炉的圆周径向型热交换台，包括热交换板（10），径向分流板（20）和分流基板（30），径向分流板（20）的上部与热交换板（10）固定连接，径向分流板（20）的下部与分流基板（30）固定连接，其特征在于：在热交换板（10）的下部开有以中心向外部成辐射状布置的通气槽（11），径向分流板（20）上开有多个贯通的并且呈阵列状分布的分流气孔（21），该分流气孔（21）与通气槽（11）连通，并且多个分流气孔（21）的横截面积在径向分流板（20）的径向方向上逐渐增大，分流基板（30）的中部设置有进气孔（31），热交换板（10）和径向分流板（20）之间设置有封闭的汇流气道，径向分流板（20）和分流基板（30）之间设置有出气通道和分流室（40），该分流室（40）分别与进气孔（31）和分流气孔（21）连通，通气槽（11）通过汇流气道与出气通道连通。